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※发布时间:2017/8/19 23:38:25   ※发布作者:habao   ※出自何处: 

  防尘防静电的连体工衣、专用的无尘手套和无尘纸、三层严格过滤净化的空调设备,水管里流动的是提炼的超纯水。这是记者在深圳深爱半导体龙岗分厂生产车间里的所见所闻。在该厂,每片芯片在工艺程序上需要八次超纯水的清洗,他们是如何在这八次清洗中,每月实现节水万吨以上的呢?

  深圳深爱半导体有限公司龙岗分厂占地10万多平方米,以生产加工高科技芯片为主。该厂员工不到400人,工厂的主要用水是消耗在生产线上的工艺清洗用水。在节水前,平均每月的用水量在65000吨左右。

  “深圳是缺水地区,我们在龙岗办厂更应该重视节约用水。”深爱半导体有限公司龙岗分厂副厂长林国刚表示,做芯片行业是技术和资源密集型,属高耗水行业。

  2008年以来,随着工厂效益的不断提高,深爱半导体龙岗分厂每月的自来水费都在13万元左右,加上污水处理费等,一个月在用水方面的支出就达到20万元。为此,林国刚要把用水量降下来。随后工厂在各部门抽调人手组建了节水领导小组。当时谁也没有想到,随着节水工作的开展,节水工作也如水一般一波三折。

  节水领导小组成立后,首先决定对用水量最大的制造部门进行节水工程。而制造部门的负责人却表示,芯片制造环节中,用超纯水冲洗是一个重要环节,如果没有洗干净,造成了损失谁也负不起这个责任,如果要在此环节节省恐怕很难。

  原来,从一块硅片制造成芯片,在制造工艺上需要八次的光刻工序,这个过程跟冲印照片有点相似。都是涂抹上化学药品,然后进行紫外线照射,最后使用超纯水进行冲洗,反复八次才能成型。而超纯水的提炼又需要在自来水中进行脱盐、除杂质等五道工序,提炼一吨超纯水大概需要两吨的自来水。

  此外,节水小组还接到反映,在工厂某部门,一些员工在用完水之后没有及时关水的习惯,晚上不用也不关掉,造成了很大的浪费。可是当节水小组去到该部门了解情况时,该部门负责人却表示,没有听说有这样的情况,用水情况很正常。由于没有相关数据证明,节水小组又碰了一鼻子灰,工作一时陷入僵局。

  为更好地开展节水工作,深爱半导体龙岗分厂节水领导小组决定,聘请专业公司到工厂来做水平衡测试,对工厂每个用水点的耗水进行专业分析。当时专业公司在查看了工厂的用水情况后,开出了30万元的检测费用。当时很多人质疑,用这么高的价格去做一个测试,是否值得呢。节水领导小组顶住各种压力,最终决定水平衡测试一定要做。林国刚在接受采访时说,我现在回想起来,还是觉得这30万元花得很值,不做这个测试,我们不可能知道水浪费在哪里了,这项测试为我们之后的节水工作奠定了有利的基础。

  水平衡测试开始后,工厂里装上了上百只水表,每个用水点的用量一目了然,监测耗水量也十分方便。监测的第一个月,节水领导小组拿着详细的用水量找到了上述某部门的负责人,由于数据一目了然,明显有浪费的情况,负责人马上表示一定会加强对员工的监督,不会再出现这类的情况。

  随后,节水领导小组发现,制造部门的用水量大,主要由于在芯片光刻工序中,超纯水的供应是24小时不间断的,在不需要冲洗的时间里,超纯水就这样白白从水槽中流走,造成了很大的浪费。节水小组的工作人员马上跟制造部的负责人协商,希望能改进冲洗的设备。

  此时,制造部门也有难处,要设备就意味着生产进度会受到影响,经济刚刚有复苏的势头,工厂处于满产的状态,到了年底,生产任务已经迫在眉睫,现在整个部门人手也很紧张,另外抽调技术人员进行工作,工作难度较大。

  经过节水小组等多部门的协调,制造部门决定实行并行的方案,既不耽误工程进度,也实现了节水的目的。由于这次的水槽设备,需要更换多个部件,如从美国进口的专业喷头,以及定时关水的装置等,每个水槽的需要一周左右,20多个临时抽调的技术人员,放弃节假日,利用业余时间进行。

  制造二部部长王泗禹告诉记者,经过逐步,我们也发现,每一个水槽,用水量就会下降一点。其实每个月下降的用水量,对于员工,对于我们整个部门来说,就是一种无形的鼓舞。毕竟数字在说话,我们的努力都是可以看见的。

  在设备供应部主管工程师龚世达的,记者来到了深爱半导体有限公司龙岗分厂的污水处理中心,这个面积约为600平方米的污水处理系统,科技含量居于国内先进水平,在这里,灰色偏红的生产废水,经过沉淀、分离等十道工序,慢慢由浑浊变得清可见底。在已处理的蓄水池中,甚至可以看到数尾小鱼儿嬉戏其中。“这些小鱼是我们水处理的质量监督员。”龚世达介绍说,为了很快的了解水质情况,它们可帮了大忙。

  没有节水之前,污水就这样弃而不用。现在我们把水管接上来,利用经废水处理系统处理达标的水用作厂区绿化、道清洗,年节水12万吨左右。龚世达说,厂区绿化面积占整个面积的一半左右,而且每个星期都要冲洗一次道、围栏和过道,现在厂区内所有用于绿化和清洁的喷头都换成了节水专业喷头,这些环节已经不需要再使用一滴自来水,处理后的废水就能满足此项用水需求。

  “我们刚到厂里,进行新员工培训时,就有关于节水的专题课。”梁敏是一名生产一线的女工,她告诉记者,刚到厂里的时候,在食堂洗完碗不关水龙头,有罚款50元的,现在大家好像都养成关水习惯了,在宿舍用水也是能节约的尽量节约。

  林国刚说,在企业节水方面,日本的企业在节水方面做得最好,欧洲企业也做得不错。生产设备技术水平高是原因之一,但更重要的是,他们有较强的节水意识,舍得增加投入、设备、不断创新节水工作。非常值得我们国内企业借鉴和学习。深爱半导体龙岗分厂乘势而上,将式冷却水塔改换成节水型密闭水塔,年节水1.8万吨;并对空调冷凝水进行回收,年可节水2.4万吨。

  林国刚说,专家组对深爱半导体工厂的节水情况进行考核时发现,我们工厂的产量在不断增加,用水量却在持续下降,这样的考核结果对全厂职工来说,无疑是莫大的鼓励。

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